高纯气体中的标准物质有严格要求？

在高纯度气体标准物质研制中对微量或痕量杂质的监测，往往是研制工作中的难点。高纯气 体是半导体芯片、大规模集成电路生产质量的关键因素，高纯气体的生产要受到众多因素的影响，从称量配气到使用，它要流经很多管道，接触许多配件、控制装置和净化设备，在长期运转过程中，受配件、装置、材质的影响，局部可能发生泄漏或渗漏，均会造成高纯气体的污染。在制备高纯气体标准物质的过程中，同样也受到上述各种因素的影响。因此，对高纯气体纯度的监测，是生产过程产品质量的关键环节。